趙宏進

加工出口區中港園區成為全國矽甲烷氣體供應基地

台灣目前是半導體、薄膜電晶體液晶顯示器及太陽能等三大產業的全球主要生產製造地區，矽甲烷氣體使用量隨著三大產業的蓬勃發展而大增，帶動台灣成為全世界矽甲烷氣體需求的主要市場。

矽甲烷氣體在半導體等三大產業的製程中扮演重要角色，諸如半導體產業之多晶矽產品，矽甲烷氣體應用於還原製造多晶矽；半導體產品，矽甲烷氣體應用於積體電路（IC）上；磊晶產品，矽甲烷氣體應用於長晶品質。薄膜電晶體液晶顯示器產業之面板產品，矽甲烷氣體應用於化學氣相沉積。太陽能產業之太陽能電池產品及非晶矽薄膜產品，矽甲烷氣體應用於製造過程。

目前全球矽甲烷氣體的主要供應商為挪威REC，全球市場占有率高達80%以上，另外還有日本三井化學、法國Air Liquide投資的日本Denal、美國MEMC等。台灣主要代理商為聯華神通集團的聯華氣體工業股份有限公司、遠東集團的亞東工業氣體股份有限公司，以及代理Air Products的三福化工股份有限公司等三家，而這三家公司均於加工出口區中港園區設有分公司，為國內半導體等三大產業製造廠商的矽甲烷氣體主要供應商。

矽甲烷氣體在常溫下具有自燃性，且在製造、處置、使用作業時，如有相關設施操作不慎，極易發生爆炸或火災，進而威脅到人員安全、造成設備財產損失及生產中斷。加工區管理處中港分處為確保中港園區三家矽甲烷氣體供應商之安全衛生，除加強實施勞動檢查外，特於94年12月發起成立「中港園區區域聯防組織」，該區域聯防組織每年均定期實施緊急應變、消防演練及毒性化學物質處置演練。97年5月6日 由該區域聯防組織成員聯華氣體工業股份有限公司中港分公司示範演練「矽甲烷鋼瓶運送不慎洩漏發生火災之緊急應變處理演練」。另該分處業於日前建置完妥「災害緊急應變中心專區網頁」，俾便提供更迅速、有效的災害緊急應變機制。